| プログラム ナンバー |
電-1-6 |
|---|---|
| 報告年度 | 2022年度 |
| 部会 | 電気電子工学部会 |
| 題目 | X線光電子分光法による積層構造の深さ方向組成分析 ーVersaProbeⅢの機能紹介ー |
| 著者名 | 烏山恭維、池田正則 |
| キーワード | からすやまきょうすけ、いけだまさのり、X線光電子分光法、表面分析 |
| 講演要旨 | PDF |
| プログラム ナンバー |
電-1-6 |
|---|---|
| 報告年度 | 2022年度 |
| 部会 | 電気電子工学部会 |
| 題目 | X線光電子分光法による積層構造の深さ方向組成分析 ーVersaProbeⅢの機能紹介ー |
| 著者名 | 烏山恭維、池田正則 |
| キーワード | からすやまきょうすけ、いけだまさのり、X線光電子分光法、表面分析 |
| 講演要旨 | PDF |