半導体基板で遮蔽された金属微細構造の近赤外イメージング

プログラム
ナンバー
電-1-10
報告年度 2022年度
部会 電気電子工学部会
題目 半導体基板で遮蔽された金属微細構造の近赤外イメージング
著者名 犬塚大介、四方潤一
キーワード いぬづかだいすけ、しかたじゅんいち、シリコン、金属パターン、近赤外光、透過イメージング
講演要旨 PDF