Si薄膜結晶化過程における交流表面光電圧変化

プログラムナンバー	電-1-8
報告年度	2022年度
部会	電気電子工学部会
題目	Si薄膜結晶化過程における交流表面光電圧変化
著者名	畚野梓、池田正則
キーワード	ふごのあずさ、いけだまさのり、半導体薄膜、交流表面光電圧、金属誘起結晶化
講演要旨	PDF