交流表面光電圧法を用いたGe薄膜の結晶性評価

プログラムナンバー	電-1-16
報告年度	2024年度
部会	電気電子工学部会
題目	交流表面光電圧法を用いたGe薄膜の結晶性評価
著者名	豊田崇史、池田正則
キーワード	とよだたかふみ、いけだまさのり、ACSPV、半導体薄膜
講演要旨	PDF