交流表面光電圧法による多結晶Si薄膜の結晶性評価

プログラムナンバー	電-3-3
報告年度	2020年度
部会	電気電子工学部会
題目	交流表面光電圧法による多結晶Si薄膜の結晶性評価
著者名	永留唯瑛、池田正則
キーワード	ながとめただてる、いけだまさのり、AC SPV、Si、薄膜
講演要旨	PDF