SiスピンMOSFETの実現に向けた高濃度Siの不純物濃度評価

プログラム
ナンバー
電-1-16
報告年度 2025年度
部会 電気電子工学部会
題目 SiスピンMOSFETの実現に向けた高濃度Siの不純物濃度評価
著者名 岸郁哉、石川瑞恵
キーワード きしふみや、いしかわみずえ、スピントロニクス、半導体
講演要旨 PDF