Si薄膜結晶化過程における交流表面光電圧の変化

プログラムナンバー	電-2-2
報告年度	2021年度
部会	電気電子工学部会
題目	Si薄膜結晶化過程における交流表面光電圧の変化
著者名	永留唯瑛、池田正則
キーワード	ながとめただてる、いけだまさのり、半導体薄膜、交流表面光電圧、金属誘起結晶化
講演要旨	PDF