陽極化成Ta₂O₅薄膜における電気伝導機構

プログラム
ナンバー
電-2-1
報告年度 2021年度
部会 電気電子工学部会
題目 陽極化成Ta₂O₅薄膜における電気伝導機構
著者名 伊藤匠生、池田正則
キーワード いとうたくみ、いけだまさのり、誘電体薄膜、コンデンサ、電位障壁
講演要旨 PDF